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光配向设备 —— LCD Cell段高端屏制造


桃学威龙小说 SPA255/20

SPA245/10

SPA200系列光配向设备主要应用于IPS TFT-LCD高端显示屏的配向工艺,可替代传统的摩擦配向设备。该系列设备能满足4.5代、5代、6代或更高世代产线光配向制程需求。
   产品特征

● 优异的光学均匀性

● 精确的偏光角控制

● 良好的热控制

● 优异的载台性能

   主要技术参数
型号 SPA245 SPA255
波长 254nm/ 313nm/ 365nm 254nm/ 313nm/ 365nm
偏光角精度 ±0.08° ±0.08°
照度均匀性 < 5% < 5%
基板尺寸 730mm×920mm 1100mm×1300mm